干式螺杆真空泵 概述 利用空间站气体复用技术研制的高效干式螺杆真空泵,填补国内空白。其核心技术为一对精密加工的螺旋状转子,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。 产品性能参数 抽气速率:20L/S~300L/S 极限压力:1Pa 噪 音:<70dB 冷却方式:风冷、水冷 防腐涂层:镍磷合金、哈氏合金、 钛合金、特氟龙 产品主要特点 制程洁净度高、极限真空度高、 排污能力强、清洗方便、节能环保、 适用范围广